정광우 교수 연구팀, 소재·부품·장비산업 자립화 연구지원사업 과제 선정 > 공지사항 | 원광대학교 화학과

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NEWS 정광우 교수 연구팀, 소재·부품·장비산업 자립화 연구지원사업 과제 선정

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작성자 최고관리자

댓글 0건 조회 86회 작성일 2021-09-16 14:11

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화학과 정광우 교수 연구팀은 ㈜ 아스타, 한국기초과학지원연구원 (KBSI)과 공동으로 <소재·부품·장비산업 자립화 연구지원사업>의 “TOF(Time-of-flight) 질량분석 방식을 적용한 고속 잔류기체 분석기 개발” 연구과제에 선정되어, 차세대융합기술연구원으로부터 2년동안 총 사업비 13.4 억원을 지원받았다. 원광대 화학과 정광우 교수 연구팀은 반도체 및 디스플레이 제조공정에서 고속으로 기체 분자를 실시간 모니터링 할 수 있는 비행시간 방식의 잔류기체분석기(RGA: Residual Gas Analyzer)를 독자적으로 개발 및 제품화 연구를 중점적으로 담당하여, 해당 기술 개발을 통해 논문/특허뿐만 아니라, 산학 공동연구의 네트워크 구축 및 참여 연구원들의 취업 연계에도 큰 기여를 하고 있다.

 

 

 

<비행시간 방식의 잔류기체분석기 기술개발 제품>

산학공동연구_정광우교수님.png

 

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